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干式真空泵维修及应用

日期:2021-10-19 21:52
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摘要:
干式真空泵维修及应用
      干式机械真空泵(干式真空泵维修)的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
      1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
      2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
      3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希翼微粒混入泵油中,而希翼微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
      4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,(干式真空泵维修)要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
      5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

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